Планар ГНПО

История ГНПО "Планар" ведёт свой отсчет с ноября 1962 года, когда в г. Минске в структуре Министерства электронной промышленности СССР было создано Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ) с главным направлением деятельности: разработка и организация производства оборудования для фотолитографических процессов и сборочных операций при производстве ИС и других изделий микроэлектроники.

Первые шаги в деятельности конструкторского бюро были направлены на формирование высококвалифицированного коллектива и развитие инфраструктуры, обеспечивающей реализацию жизненного цикла создания сложнейшей продукции, начиная от научных исследований, разработки конструкторской документации, изготовления опытных образцов и заканчивая их серийным освоением, поставкой и сервисным обслуживанием продукции у покупателя.
Уже в первые годы деятельности было разработано и поставлено на предприятия электронной промышленности оборудование для производства фотошаблонов и проведения операций совмещения и экспонирования на полупроводниковых пластинах, оборудование для сборки ИС и гибридных схем, использующих термокомпрессионные, ультразвуковые, электроимпульсные методы присоединения проволочных выводов.
В 1966 году была разработана первая фотонаборная установка (генератор изображения), а в 1967 году - поточная автоматизированная линия сборки транзисторов на ленте в пластмассовых корпусах.
В 1971 году было образовано научно-производственное объединение "Планар" во главе с КБТЭМ. В его состав вошли крупные машиностроительные заводы: "Эллар", г. Рига (Латвия); "Эвистор", г. Витебск (Беларусь); "Этон", г. Новолукомль и другие предприятия, расположенные в г. Горки и г. Ново-Ржеве.
В 1973 году на "Планаре" был разработан первый степпер модели ЭМ-542, опередивший конкурентов из других стран, а в 1977 г. начато серийное производство полных автоматов присоединения проволочных выводов модели ЭМ-490Б и зондовых автоматов модели ЭМ-680, использующих 4 координатный линейный шаговый привод.
Стремительный рост степени интеграции БИС, размеров кристаллов и переход на пластины диаметром 5", 6" и 8" потребовал новых разработок. В 1981 году была разработана и серийно освоена новая базовая модель степпера ЭМ-584, использующая новый многокоординатный привод на ЛЩД, новые проекционные объективы серии Бинар. Около 1000 степперов различных модификаций базовой модели изготовлено за эти годы.
Дальнейшее развитие получило направление по разработкам генераторов изображения. Использование новых источников излучения (лазеров, импульсных ламп), быстродействующих компьютеров, модульных координатных приводов на ЛШД и высокоразрешающей оптики позволили создать семейство высокопроизводительных генераторов изображения моделей ЭМ-559 в 1978 году, ЭМ-5009(А) в 1981 году, a в 1984 году был создан многолучевой лазерный генератор модели ЭМ-5089. В 1988 году начался выпуск широкоформатных генераторов изображения для масок кинескопов и фотошаблонов печатных плат.
В 1992 году ГНПО "Планар" приступил к производству степперов модели ЭМ-5084 на новой базовой платформе, рассчитанной на использование пластин диаметром 8" с min разрешающим элементом 0,5 мкм.
Новые разработки сборочного оборудования были направлены на повышение производительности и точности выполняемых операций, полную автоматизацию рабочего цикла, создание комплексных автоматических линии. Созданные в 1981-2002 г.г. модели автоматов посадки кристаллов ЭМ-4085, присоединения проволочных выводов ЭМ-4060 (Аu) и ЭМ-4020Б (А1) были основаны на многокоординатных модульных ЛШД, техническом зрении и быстродействующих микропроцессорах. Они решили проблему резкого увеличения выпуска ИС. Более 5 тысяч штук указанных моделей было выпущено в 80-х годах. Логическим развитием этих моделей явилась разработка в 1995 году новых базовых моделей оборудования для присоединения проволочных выводов ЭМ-4260 (8 перемычек в секунду, Аu) и ЭМ-4280 (3 перемычки Аl в секунду).
В последние годы специалистами ГНПО «Планар» созданы новые модели оборудования для оснащения субмикронных производственных изделий микроэлектроники: многоканальные лазерные генераторы изображения ЭМ-5189, ЭМ-5189-1, ЭМ-5289, ЭМ-5396; установки автоматического контроля фотошаблонов ЭМ-6029Б, ЭМ-6329, ЭМ-6729; оборудование для лазерного устранения дефектов ЭМ-5001Б, ЭМ-5131; широкоформатный степпер ЭМ-5434М; установки зондового контроля ЭМ-6290, ЭМ-6190А, ЭМ—6290; оборудование для механического утонения пластин ЭМ-6050, ЭМ-6060; оборудование резки пластин на кристаллы ЭМ-2085, ЭМ-225М; установки монтажа кристаллов ЭМ-4485, ЭМ-4585; оборудование присоединения выводов ЭМ-4370, ЭМ- 4320, ЭМ-4360; посты микроконтроля МК-1, МК-3, МК-АМ.
В настоящие время в ГНПО «Планар» ведутся масштабные разработки по созданию оборудования для производства изделий микросистемотехники, светоизлучающих диодов, оборудования для исследований методами фотоакустической и атомной силовой микроскопии, оборудования для манипулирования объектами нанометрового диапазона.
Гамма микроскопов, комплекты логистического оборудования, изделия медицинской техники дополнят научно-технический потенциал ГНПО «Планар»